高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。
高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域很寬,在半導體工業,高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體,和無機高純氣體。
常見高純氣體的用途
環氧乙烷可用作生產增塑劑、潤滑劑等;
氯甲烷是重要的甲基化劑,還可作致冷劑、發泡劑等;
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑;
二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑;甲硫醇用于合成染料、醫藥、農藥;
乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收;乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等